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2021年12月9日至11日,由气体圈子主办的特种气体英才计划第七期研修班顺利结业。本期内容以“特种气体品质”为核心知识点进行了课程体系开发。
气体圈子创始人任路先生表示,电子特气大多都是高纯气体,所以我们**节课的安排是由德国实验物理学博士、武汉华灿光电联合创始人、湖南高安新材料公司创始人鲍坚仁先生主讲《高纯材料的应用及相关技术》,鲍博士首先通过生活中常见的高纯材料案例引入了高纯电子材料概念,然后通过高纯氢(H2)、高纯氯化氢(HCL)、高纯三氯化硼(BCL3)、高纯五氟乙烷(C2HF5)、高纯氨、高纯硅、MO源等实例对高纯电子材料常用的提纯技术和检测技术做详细讲解。就高纯电子材料中水含量对芯片的影响做了重点分析,微水在泛半导体制造中会造成载流子和增透膜的异常,直接导致良率降低。
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